日本kakenjse實(shí)驗(yàn)研究用曝光機(jī)MA-1200/MA-1400技術(shù)

發(fā)布時(shí)間：2021-03-11　點(diǎn)擊量：1216

日本kakenjse實(shí)驗(yàn)研究用曝光機(jī)MA-1200/MA-1400技術(shù)

MA-1200，MA-1400

支持大500 mm x 500 mm的板。配備了光學(xué)系統(tǒng)，可根據(jù)應(yīng)用和板子尺寸將超高壓汞燈（500W，1kW，2kW，3.5kW）與各種反射鏡，特殊透鏡，聚光鏡等??進(jìn)行z佳組合。

MA-1200A

手動(dòng)批量曝光機(jī)非常適合于高混合，小批量生產(chǎn)，實(shí)驗(yàn)和研究，并且可以進(jìn)行穩(wěn)定的自動(dòng)間隙控制。
通過(guò)減少占用空間實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。

MA-1200	MA-1400
板子尺寸		大200 x 200mmø4“?ø6”	高達(dá)400 x 400mm
光源		超高壓汞燈：500W或1kW	超高壓汞燈：2kW或3.5kW
尺寸和重量	車(chē)身尺寸	寬12x深1100 x高1725毫米	寬1440 x深1590 x高1882毫米
	體重	400公斤	400kg（包括干凈的圍欄）
	光源重量	--	250公斤
選項(xiàng)		支持特殊的工作尺寸，例如干凈的圍欄，背面對(duì)準(zhǔn)，硬接觸（真空接觸類(lèi)型），自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，破裂的基板（需要咨詢(xún)）

我們接受有關(guān)板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢(xún)。

		MA-1200A
晶圓尺寸		ø2“?ø6”
光源		超高壓汞燈：500W或1kW
尺寸和重量	車(chē)身尺寸	W850 x D1150 x H1665毫米
	重量	400公斤
選項(xiàng)		背面對(duì)齊，自動(dòng)對(duì)齊，開(kāi)裂的板，條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持（需要咨詢(xún)）

*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢(xún)，例如板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。

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