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腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

產(chǎn)品型號： PC-601系列

所屬分類(lèi)：壓力傳感器

產(chǎn)品時(shí)間：2021-05-08

簡(jiǎn)要描述：日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產(chǎn)線(xiàn)中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì )在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。

詳細說(shuō)明：

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導體設備的生產(chǎn)線(xiàn)中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì )在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

  • 高耐腐蝕性
    對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線(xiàn)性、滯后性、重復精度的影響造成和*擬合線(xiàn)的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
  • 測定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），絕對壓的壓力范圍為0～2,586torr。
  • 使用壽命長(cháng)
    各測量范圍都通過(guò)了100萬(wàn)次的循環(huán)耐久測試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規格

 

型號 表壓※絕對壓
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0～172.40～344.70～689.50～1,378.90～3,447.30～20,6840～103.40～172.40～344.7
kgf/cm20～1.760～3.520～7.030～14.060～35.160～210.9---
torr------0～7760～1,2930～2,586
精度（％ 全量程)±0.5％±0.25％±0.5％

 

※所有的表壓類(lèi)型可以連成。

 

過(guò)載壓力全量程×2
激勵電源電壓DC 5V(MAX 6V)
保存溫度范圍-20℃～93℃（未通電）
溫度補償范圍-1℃～71℃
溫度漂移±0.05%　FS/℃
信號輸出100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V)
跨度100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV
偏移量0mV ± 10mV
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體（液體）接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

 

 



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